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唐嫣 白虎 捷捷微电苦求截止电路以及刻蚀真空系统专利, 约略幸免大气回灌答允产生

发布日期:2025-01-17 10:38    点击次数:119

唐嫣 白虎 捷捷微电苦求截止电路以及刻蚀真空系统专利, 约略幸免大气回灌答允产生

金融界2025年1月16日音讯,国度学问产权局信息深刻,捷捷微电(南通)科技有限公司苦求一项名为“截止电路以及刻蚀真空系统”的专利,公开号CN119297066A唐嫣 白虎,苦求日历为2024年9月。

专利摘录深刻,本苦求提供了一种截止电路以及刻蚀真空系统,其中,该截止电路,包括:电源模块、互锁截止模块以及开关模块;互锁截止模块包括:供电截止单位以及邻接截止单位;邻接截止单位的输出端别离与等离子刻蚀机的进口载锁以及等离子刻蚀机的出口载锁邻接;供电截止单位用于在开关模块导通时上电,并向邻接截止单位发出电磁信号;邻接截止单位用于在电磁信号的作用下,在邻接截止单位的输出端与进口载锁以及等离子刻蚀机的真空抽取装配之间变成回路,以将进口载锁与等离子刻蚀机的真空抽取装配导通,且将出口载锁与等离子刻蚀机的真空抽取装配断开。本苦求约略平等离子刻蚀机的真空抽取进程进行截止,从而灵验幸免了大气回灌答允的产生。

天眼查府上深刻,捷捷微电(南通)科技有限公司,诞生于2020年,位于南通市,是一家以从事策画机、通讯和其他电子斥地制造业为主的企业。企业注册本钱168000万东谈主民币,实缴本钱168000万东谈主民币。通过天眼查大数据分析,捷捷微电(南通)科技有限公司参与招投标模式30次,专利信息55条,此外企业还领有行政许可10个。

本文源自:金融界





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